1. 工作原理:接近式光刻机是通过将掩模与光刻胶直接接触,然后使用紫外光照射来进行图案转移;而步进式光刻机是通过将掩模与光刻胶分开,然后使用光束扫描的方式...
一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形,大致步骤为:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂(即光刻胶有正性和负性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多...
光刻机作为整个集成电路制造最关键的设备,其设备的性能直接影响到整个微电子产业的发展。全球目前最先进的沉浸式光刻机也只有ASML、尼康和佳能三家能够生产,单台价...
接着,工程人员使用规定波长的紫外线(对应设备为光刻机)照射硅晶圆,而光罩被放置在硅晶圆与照射的光源之间,光罩的金属铬膜就会遮挡光线,没有金属铬膜的地方,紫外线...
韩国三星公司近年开发的全数字永磁交流伺服电动机及驱动系统,其中FAGA交流伺服电动机系列有CSM、CSMG、CSMZ、CSMD、CSMF、CSMS、CSMH、CSMN、CSMX多种型号,功率...
随着全数字式交流伺服系统的出现,交流伺服电机也越来越多地应用于数字控制系统中。为了适应数字控制的发展趋势,运动控制系统中大多采用步进电机或全数字式交流伺服...
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